真空泵是真空系统的主体设备，西湖真空设备厂在多年试验研究和推广应用的基础上，已初步形成了两大系列产品：全蒸汽喷射真空泵系列和蒸汽喷射－水环真空泵系列。全蒸汽喷射真空泵系列是以一定压力的水蒸气和冷却水为泵的工作介质，蒸汽喷射－水环真空泵是以一定压力，相对较少的水蒸汽和冷却水作为工作介质，并耗用少量电能。
全蒸汽喷射真空泵的蒸汽耗量较大，需配置较大的锅炉，但真空设备本体造价较低；蒸汽喷射－水环真空泵的蒸汽耗量较小，可配置较小的锅炉，但真空设备本体造价较高，两者均能充分满足钢水炉外精练的要求。
其中，RH真空循环精炼法和VD/VOD钢包真空精炼均是多功能精炼方法。前者对钢水的搅拌功能更强，且对钢水有一定的加热功能，但造价高，结构较复杂；后者如能将钢包底吹氩合理强化，仍能达到对钢水充分搅拌，得到理想的动力学条件和效果；如果VD与LF双联，则可达到理想的钢水精炼温度，且结构简单，造价较低。RH适用较大的炉容量（≥80吨），LF/VD的炉容量一般没有限制，可小至数吨。两种方法均具有真空下脱[H],脱[N]，脱[S]，脱[O]，以及真空碳脱氧（VCD）,真空氧脱碳（VOD）功能，均能达到精炼超纯净钢的效果。