2026年1月16日，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（证券简称：中科仪，证券代码：830852）成功通过北京证券交易所上市委员会审议，标志着这家深耕真空技术领域近70年的 “硬科技” 企业，正式迈向资本赋能发展的新阶段。此次过会不仅是对中科仪技术实力与行业地位的认可，更将为我国半导体产业链自主可控注入新动能。

       业绩方面，中科仪近年来保持营收稳健增长态势。招股书（上会稿）显示，2022年-2024年，中科仪分别实现营业收入从6.98亿元、8.52亿元及10.82亿元，年均复合增长率达25.4%；对应净利润分别为4.98亿元、6.00亿元、1.93亿元；毛利率方面，公司综合毛利率保持行业合理水平，2022年至2024年分别为28.66%、33.02%、29.44%，体现出较强的成本控制与产品竞争力。2025年前三季度，公司营收为8.45亿元，与上年同期相比增长21.93%。

▲ 中科仪近年营收情况（来源：招股书）

       作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究的领军企业，中科仪自1958年起源至今，始终以 “引领真空技术、支撑科技创新” 为使命。公司主营业务聚焦干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产与销售，核心产品覆盖集成电路晶圆制造、光伏电池生产等泛半导体领域，以及国家重大科技基础设施建设，是国内少数能打破欧美、日本企业在高端真空设备领域长期垄断的企业之一。

       干式真空泵是集成电路各制程中实现真空环境所必需的零部件，集成电路产业15个主要工艺环节中的11个需要使用干式真空泵。受益于近年来集成电路产业的稳定增长，干式真空泵产业也保持着良好的发展态势。以12英寸晶圆生产线为例，业内通常每6万片/月产能需要约3,500台干式真空泵。SEMI《世界晶圆厂预测报告》统计数据显示，2023年全球晶圆产能约当12英寸为1,316万片/月，较2022年增长约68万片/月。据此测算，包括新增产能对干式真空泵的采购需求以及原有产能对干式真空泵的替换需求，2023年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为11.27万台，按单台泵均价10万元测算，全球市场规模约112.75亿元。同时，SEMI预计2024年全球晶圆产能较2023年增长84万片/月。据此测算，2024年全球集成电路产业对干式真空泵的需求为12.57万台，市场规模约125.74亿元。行业拥有良好的发展前景。

▲ 中科仪干式真空泵主要产品系

       为持续强化研发与产业化能力，中科仪本次IPO拟募集资金8.25亿元，分别投向三大核心项目：其中，2.31亿元拟用于干式真空泵产业化建设项目，届时将提升产能至年产20040台；4.74亿元拟用于高端半导体设备扩产及研发中心建设项目，完善高端产品生产配套与研发体系；而1.21亿元则用于新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目，聚焦超高速节能泵、超高温泵等前沿产品。这一布局将进一步巩固公司在集成电路领域的优势，加速推进高端真空设备国产替代进程。

▲ 中科仪募投项目情况（来源：招股书）

       未来，中科仪将以此次北交所上市为契机，持续深化真空技术创新，加快国产替代进程，为我国集成电路制造设备关键零部件自主可控与供应链安全提供更坚实支撑，同时在国家重大科技基础设施建设与前沿科学研究领域贡献更多 “中科力量”，书写中国高端装备制造业高质量发展的新篇章。

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