2026年1月16日，中國科學院瀋陽科學儀器股份有限公司（證券簡稱：中科儀，證券代碼：830852）成功通過北京證券交易所上市委員會審議，標誌著這家深耕真空技術領域近70年的 “硬科技” 企業，正式邁向資本賦能發展的新階段。此次過會不僅是對中科儀技術實力與行業地位的認可，更將為我國半導體產業鏈自主可控注入新動能。

業績方面，中科儀近年來保持營收穩健增長態勢。招股書（上會稿）顯示，2022年-2024年，中科儀分別實現營業收入從6.98億元、8.52億元及10.82億元，年均複合增長率達25.4%；對應淨利潤分別為4.98億元、6.00億元、1.93億元；毛利率方面，公司綜合毛利率保持行業合理水準，2022年至2024年分別為28.66%、33.02%、29.44%，體現出較強的成本控制與產品競爭力。2025年前三季度，公司營收為8.45億元，與上年同期相比增長21.93%。

▲ 中科儀近年營收情況（來源：招股書）

作為中國科學院下屬專注於潔淨真空、超高真空技術研究的領軍企業，中科儀自1958年起源至今，始終以 “引領真空技術、支撐科技創新” 為使命。公司主營業務聚焦幹式真空泵和真空科學儀器設備的研發、生產與銷售，核心產品覆蓋積體電路晶圓製造、光伏電池生產等泛半導體領域，以及國家重大科技基礎設施建設，是國內少數能打破歐美、日本企業在高端真空設備領域長期壟斷的企業之一。

幹式真空泵是積體電路各制程中實現真空環境所必需的零部件，積體電路產業15個主要工藝環節中的11個需要使用幹式真空泵。受益於近年來積體電路產業的穩定增長，幹式真空泵產業也保持著良好的發展態勢。以12英寸晶圓生產線為例，業內通常每6萬片/月產能需要約3,500臺幹式真空泵。SEMI《世界晶圓廠預測報告》統計數據顯示，2023年全球晶圓產能約當12英寸為1,316萬片/月，較2022年增長約68萬片/月。據此測算，包括新增產能對幹式真空泵的採購需求以及原有產能對幹式真空泵的替換需求，2023年全球積體電路產業對幹式真空泵的需求為11.27萬臺，按單臺泵均價10萬元測算，全球市場規模約112.75億元。同時，SEMI預計2024年全球晶圓產能較2023年增長84萬片/月。據此測算，2024年全球積體電路產業對幹式真空泵的需求為12.57萬臺，市場規模約125.74億元。行業擁有良好的發展前景。

▲ 中科儀幹式真空泵主要產品系

為持續強化研發與產業化能力，中科儀本次IPO擬募集資金8.25億元，分別投向三大核心專案：其中，2.31億元擬用於幹式真空泵產業化建設專案，屆時將提升產能至年產20040臺；4.74億元擬用於高端半導體設備擴產及研發中心建設專案，完善高端產品生產配套與研發體系；而1.21億元則用於新一代幹式真空泵及大抽速幹式螺杆泵研發專案，聚焦超高速節能泵、超高溫泵等前沿產品。這一佈局將進一步鞏固公司在積體電路領域的優勢，加速推進高端真空設備國產替代進程。

▲ 中科儀募投專案情況（來源：招股書）

未來，中科儀將以此次北交所上市為契機，持續深化真空技術創新，加快國產替代進程，為我國積體電路製造設備關鍵零部件自主可控與供應鏈安全提供更堅實支撐，同時在國家重大科技基礎設施建設與前沿科學研究領域貢獻更多 “中科力量”，書寫中國高端裝備製造業高質量發展的新篇章。

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